​一台卖1.8亿美元！ASML第三代光刻机问世

一台卖1.8亿美元！ASML第三代光刻机问世

光刻机大厂阿斯麦尔(ASML) 交货了第三代标准型极紫外（EUV）光刻机，新设备型号为Twinscan NXE:3800E，配备了0.33数值孔径透镜。该设备相较于之前型号为Twinscan NXE:3600D的标准型光刻机，性能有了进一步的提高，可以支持未来几年3纳米及2纳米制程的芯片制造。

报道指出，ASML的Twinscan NXE:3800E第三代标准型EUV光刻机是代表了标准光刻技术在性能和精度方面的又一次进步。新型号的EUV光刻机可达到每小时处理195片晶圆的处理速度，相较先前Twinscan NXE:3600D的设备，其处理速度约每小时160片，大概提升了22%，而且将来有可能提高到每小时处理220片的速度。此外，新设备还提供了小于1.1纳米的晶圆对准精度。

报道强调，即便用于4/5纳米制程芯片的生产，Twinscan NXE:3800E第三代标准型EUV光刻机也能提升效率，让晶圆制造企业可以提高芯片生产的经济性，达到更为高效，且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点，是Twinscan NXE:3800E的精度提升会让3纳米以下的制程节点受惠，这使得制造2纳米制程芯片和后续需要双重光刻的制造技术有很好的效果。